能产品。

但让外界略感失望的是，在此次发布会上，灵视系列并未带来任何升级产品。

在学术界看来，即便强如智橙科技，也没法解决海量电极信号的采集、传输与管理难题。

三天后，沉寂许久的星源科技向采购商发出了邀请函，邀请他们参加2019年度的新品推介会。

继破晓A220EUV、破晓D400DUV、破晓A3XEUV光刻机之后，星源科技拿出了一款足以颠覆行业现状的划时代产品—曙光SXR100光刻机。

全球第一台软X射线光刻机！

单台售价6.2亿美币，价格堪比一架大型商用客机！

最让人震惊的是，它最高支持100皮米级制造精度。

顷刻间，半导体行业掀起了惊涛骇浪。

但与橙子医疗攻克胰腺癌时的欢呼不同，这一次，学术界的第一反应却是质疑。

「软X射线光刻？压根不可能实现工业化！」

剑桥大学的物理教授詹姆斯在个人社交帐号上发文批驳。

「软X射线的波长确实在0.1—10纳米之间，理论上可以达到皮米级精度。

但问题在于，这个波段的光源几乎会被所有材料吸收！

透射式光学系统无法工作，反射式系统的效率又非常低下，更不用说光刻胶对软X射线的敏感度问题了。

我承认星源科技在半导体领域的技术实力和行业地位，但这并不意味著它可以用夸大的宣传来误导公众。」

他的质疑，在半导体圈内引起了广泛共鸣。

东京大学的半导体研究团队则从材料学角度提出了质疑。

「软X射线的穿透力太强，会对矽晶圆造成辐射损伤，影响器件的可靠性。」

「就算勉强制造出晶片，良品率也将低到令人发指的程度！」

就连国内，也有不少专家持怀疑态度。

质疑声在网络上越演越烈。

一篇名为《为什么软X射线光刻机是伪命题》的技术分析文章，在逼乎和Reddit上同时登上了热榜前三。

文章作者是一个在湾积电工作了十五年的资深工程师，他在文中详细阐述了软X射线光刻面临的三大技术障碍。

第一，光源问题。

软X射线通常由同步辐射或雷射等离子体产生，但无论哪种方