第1118章 光子芯片 首页

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第1118章 光子芯片(4/6)

“盘古会跑一个全参数空间的搜索。不是逐项试,是把一百三十七个参数当成一百三十七维空间里的一个点,在这个空间里找全局最优解。”

周明远听完没说话。

两个小时后,盘古给出了结果。

一套完整的参数组合。一百三十七个数值,精确到小数点后四位。

周明远拿着打印件,一行一行往下看。

看到第二十三行的时候,他的手停住了。

光刻对准偏移量:负一点七纳米。

教科书的推荐值是正零点五纳米,允许范围正负一纳米。盘古给出的数值,偏了百分之四十还多,而且方向是反的。

“这不可能。”周明远的声音很低。

陈默在视频那头调出了盘古的推演日志,一页一页翻给他看。

“京州的洁净室建在南区产业岛上,紧邻海岸线,年平均湿度比内陆同类设施高百分之十二。钴基封装材料的热膨胀系数在高湿环境下会产生非线性偏移。传统参数是在标准环境下标定的,拿到京州来用,本身就带着系统性的偏差。”

陈默把模型的物理解释滚动了一遍,每一步推理都有数据支撑。

“换句话说——教科书才是偏差的来源。”

周明远盯着那个负一点七看了五分钟。

整间工艺分析室静得能听见空调出风口的气流声。

“跑。”

五百片晶圆装载完毕。新参数输入盘古控制系统。全自动流程启动。

周明远没有回宿舍。他在检测室外面搬了把椅子,坐着等。

二十个小时后,最后一片晶圆走完制程。

检测程序启动。

检测室的灯亮了一整夜。

凌晨四点十一分。

小韩双手捧着报告走出来的时候,嘴唇哆嗦得说不利索话。

周明远站起来,一把接过去。

五百片。合格品三百九十片。

良率百分之七十八。

报告纸上的墨还没干透。周明远的拇指在纸面上按了个印子。

他捏着那张纸,转身就往外走。

林锐的车在厂房门口等着。周明远上了车,一句多余的话没说。

到苏哲办公室的时候是早上六点半。苏哲已经在了,衬衫扣子系到最上面一颗,桌上摊着一份凤栖县水务工程的进度报告。

周明远把检测报告递上去。

他的手在抖。

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