弛下来，脸上涌出难以自控的狂喜。

但没有人敢在这时放声庆祝。

临门一脚前的任何松懈，对于这群与精密工程搏斗了一生的科研人来说，都是大忌。

而在这片压抑的喜悦中，唯有一人，脸上没有丝毫波澜。

林渊站在检测台前，视线在屏幕最后一组数据上停留片刻，随即抬手，关掉了扫描程序。

“很好。”

他说了两个字，转过身，面向屏息等待的众人。

“单片精度验证，通过。”

话音刚落，研究员们脸上的喜色再也抑制不住，有人已经开始用力攥紧拳头，手臂微微颤抖。

紧接着，林渊抬手竖起一根食指，在半空中轻轻晃了晃。

“那么接下来，只差最后一步了。”

最后一步。

魏建成三人齐齐点头，脸上刚刚浮出的喜色收了几分，重新换上绷紧的专注。

单片试刻通过，只证明这台光刻机精度够，能刻，且刻得准。

但它的商用价值，从来不在于“能不能刻好一片”。

而在于，它能不能稳定地、持续地、一片接一片地刻下去，并保证每一片的质量，都和第一片别无二致。

这，叫做批量一致性检测。

是整机验收的最后一关，也是最残酷的一关。

只有这一关跑通了，国产光刻机，才算真正意义上的，研发成功！

所有人都明白这个道理，无需多言。

就在众人准备迎接最后冲刺时，林渊已经重新走回了操作台。

他弯下腰，从台面下方拖出一个此前无人注意的军绿色大号密封运输箱，体积比刚才那个，足足大了三四倍。

“咔哒。”

锁扣弹开，箱盖掀起。

箱内，是一排排码放得整整齐齐的晶圆片盒。

每个片盒中，都静静叠放着二十五片8英寸空白光刻晶圆。

这个数量……

车间里，倒吸凉气的动静，密集得连成了一片。

“林总工……”

魏建成盯着那个大箱子，喉结滚了一下。

“你这是准备……批量测多少片？”

林渊先是从箱中取出一个片盒，动作从容地放入上料口，随即伸出一根手指，轻笑一声道。

“一百。”