机，可还停留在193纳米的深紫外波段。

13.5纳米？

那是另一个维度的东西。

是整个行业喊了十几年、却没有一家企业真正量产落地的极紫外。

中后排的国内企业家们，不少人已经开始下意识地前倾身体。

林渊没有给任何人反应的时间，第二根手指已经竖了起来。

“第二，数值孔径，0.55。”

如果说前一个数字是惊雷，这一个，就是直接砸在头顶的陨石！

在13.5纳米的极紫外波段下，实现0.55的数值孔径？

这是什么概念？

意味着这台机器的成像能力，已经达到了一个当今世界任何一家光学企业连论文都不敢写的恐怖高度。

“第三。”

林渊没有停顿，第三根手指跟着竖了起来。

“单次曝光分辨率，小于等于8纳米。”

第三个数据砸下来，整个会场顿时鸦雀无声。

8纳米！

当前最先进的商用光刻机，官方数据是38纳米！

从38纳米，一下子跳到了8纳米！

这不是进步。

这是跨越了数个时代的碾压！

“第四，平均功率，800瓦。”

林渊的声音依旧平稳，但台下已经有人开始控制不住地倒吸凉气，声音连成了一片。

800瓦的平均功率。

这意味着无与伦比的生产效率，和低到惊人的单片成本。

意味着在商业化量产这条赛道上，夏国的光刻机，已经把所有对手甩在了身后。

“第五，光源稳定性，0.1%以内。”

林渊放下手，将话筒稍稍移开嘴边，视线扫过台下那些已经彻底呆滞的面孔。

“以上，就是我们这台光刻机的核心参数。”

林渊的话音落下。

整个会场陷入了一片死寂。

现场所有人，包括透过直播看到这一幕的全球观众，都在竭力消化这几个核心数据带来的、足以撑爆大脑的震撼。

这，就是夏国的EUV光刻机吗？